高度通用的超声波系统，可可靠地最终清洗微观结构

无大于1µm的颗粒

微结构领域的技术进步和加工更大基底的需要，要求在波格游戏 Präzisionsoptik Gera安装一个新的最终清洗系统. UCM AG提出的设备全国网赌正规平台得到了客户的认可. 它可以清洗未经处理的晶片，也可以清洗结构化和涂布的基片. 可靠地满足了“颗粒不大于1 μ m”的洁净度要求.

1991年，德国Gera的蔡司工厂关闭, 一群前高层管理人员领导了一项管理层收购，以保存和发展Gera光学制造的悠久传统, 这标志着波格游戏 Präzisionsoptik Gera GmbH的诞生. 如今，该公司拥有140名员工. 它发展和生产, 一方面, 定制光学精密零件, 用于光谱的整个光学范围的部件和设备. 这些产品被世界各地的客户在机械工程领域使用, 测量技术, 工业图像处理, 医疗设备, 激光技术, 以及半导体和航空航天工业. 另一方面, 作为标准化和定制光学微结构的制造商，该公司已获得国际声誉, e.g.网格和尺度网格、美国空军分辨率目标、针孔孔径和校准目标. 在这一领域，波格游戏可以自行处理所有的开发和生产过程. “我们最近扩大了微结构制造的技术选择范围和我们能够处理的基底尺寸. 因此, 需要一个新的最终清洗系统。”, 报道1月Schubach, 波格游戏的董事总经理之一.

要求达到最大清洁度

波格游戏的光学微结构主要由b270玻璃和石英玻璃制成, 以及陶瓷和玻璃陶瓷基板. 最后的清洁步骤，旨在清除灰尘, 在未经处理的基材和添加结构和涂层后，抛光产品的超细残留物和指纹是强制性的. 由于应用于基质的结构在某些情况下仅测量2 μ m, 洁净度规范要求颗粒不大于1µm. 波格游戏在与各种设备制造商讨论其技术的同时，与外部顾问共同开发了这些非常严格的清洁任务的全国网赌正规平台.

一种多功能清洗系统，而不是多种特殊类型

“我们正在研究特殊用途的不同清洁概念，如清洁口罩或半导体行业的特定衬底配置. 十有八九，我们需要三个不同的系统来满足我们的需求. 这促使我们与UCM取得联系. 我们已经有了这个设备制造商的清洁系统, 和我们的顾问, 太, 在公司的另一个项目中积累了良好的经验。, Jan Schubach解释说. 瑞士UCM AG), 是生态清洁集团的成员, 与波格游戏和顾问一起修改和调整了设备概念. “UCM非常灵活地解决了我们的建议, 利用他们自己在光学产品清洁系统制造方面的丰富经验", 总经理回忆道.

新的超声波清洗线共有11个工位, 包括七个浸没槽. 这些是为以下工艺步骤设计的:湿加载, 多频超声波清洗(40和80 kHz), megasonic清洁, 冲洗, fine-冲洗, 红外干燥超过分度带输送机, 和卸载.

湿式装载操作和所有的清洗和漂洗过程都由底液完成. (完全软化)水. 这取决于清洗程序, 冲洗水采用级联循环, 被丢弃的, 或通过一个单独的排水沟. 该方法具有较高的清洗质量, 就像由UCM开发的用于所有坦克的四边溢出特性一样. 清洗或漂洗液从下面进入储罐, 向上移动，然后通过四周的溢出退出. 因此，从产品中去除的外来物质将直接从储罐中排出. 这避免了在卸载零件时的再污染，同时也防止在罐内形成污垢袋. 此外，衬底处理得非常彻底和均匀.

漂洗槽有另一个特殊的设计特点. 水以高压被泵入这些水箱，从而引起湍流. 这就足够了, 与产品运动相结合, 目前在不借助超声波的情况下冲洗衬底. 然而, 机械设备和控制系统都准备支持未来的超声波集成，以便用户能够快速灵活地应对更严格的要求.

在无尘室内全自动清洗

清洗系统集成到洁净室中. 待处理的基片, 尺寸可达10英寸, 是否以特殊的磁带手动放置在系统的搬运架上. 然后操作者选择适当的特定部分清洗程序. 它存储在系统的控制器中，并决定在每种情况下将使用哪些工作站以及哪些处理参数.g.，超声波功率和频率，停留时间-应设置为每个罐. 为了确保准确遵守每个站点规定的治疗时间, 灵活的控制系统支持输入“优先时间”. “我们目前正在为不同的基材工作10个项目，并从一开始就在所有清洁任务中取得了良好的效果. 自2015年3月移交以来，清洗系统一直运行顺利. 事实上, 我们还没有看到这种复杂设备在开始阶段遇到的任何问题。”, 简·舒巴赫满意地注意到.


作者:多丽丝·舒尔茨