精密光学

高度通用的超声波系统,用于可靠的微观结构的最终清洗

没有大于1µm的颗粒

微结构领域的技术进步和加工较大基片的需要要求在波格游戏 Präzisionsoptik Gera安装一个新的最终清洗系统. UCM AG提出的设备全国网赌正规平台获得了客户的认可. 它使清洁未处理晶圆以及结构和涂层基板成为可能. 可靠地满足了“无颗粒大于1µm”的洁净度要求.

1991年,德国格拉的蔡司工厂关闭, 一群前高层管理人员领导了一场管理层收购,以保留和发展Gera光学制造的悠久传统, 从而标志着波格游戏 Präzisionsoptik Gera GmbH的诞生. 如今,该公司拥有140名员工. 它开发和生产, 一方面, 定制光学精密零件, 用于整个光谱光学范围的元件和器件. 这些产品被世界各地的机械工程领域的客户所使用, 测量技术, 工业图像处理, 医疗设备, 激光技术, 以及半导体和航空航天工业. 另一方面, 该公司已获得国际声誉作为标准化和定制光学微结构的制造商, e.g.,网格和比例尺网格,美国空军分辨率目标,针孔孔径和校准目标. 在这一领域,波格游戏可以自行处理所有开发和生产过程. “我们最近在技术选择范围和我们能够处理的衬底尺寸方面扩展了微结构的制造. 因此, 需要一个新的最终清洗系统。”, 报道1月Schubach, 波格游戏的常务董事之一.

要求最高洁净度

波格游戏的光学微结构主要由b270玻璃和石英玻璃制成, 以及从陶瓷和玻璃陶瓷基板. 最后的清洗步骤,旨在清除灰尘, 在未处理的基材上以及添加结构和涂层后,抛光产品和指纹的超细残留是强制性的. 由于应用于衬底的结构在某些情况下只能测量2µm, 清洁度规格要求颗粒不能大于1µm. 波格游戏与外部顾问共同开发了一种全国网赌正规平台,解决了这些非常苛刻的清洁任务,并与各种设备制造商讨论了其技术.

一个多功能的清洗系统,而不是多种特殊类型

“我们正在研究用于特殊用途的不同清洁概念,如清洁口罩或半导体行业的特定衬底配置. 十有八九,我们需要三种不同的系统来满足我们的需求. 这促使我们联系了UCM. 我们已经从这家设备制造商那里获得了一套清洁系统, 和我们的顾问, 太, 在公司的另一个项目中积累了很好的经验。”, Jan Schubach解释说. 瑞士UCM AG), 一个Ecoclean集团的成员, 与波格游戏和顾问一起修改和调整设备概念. “UCM非常灵活地处理了我们的建议, 凭借自身在光学产品清洁系统制造方面的丰富经验”, 总经理记得.


新的超声波清洗线共有11个工位, 包括七个浸水罐. 这些是为以下工艺步骤设计的:湿加载, 多频超声波清洗(40和80千赫), megasonic清洁, 冲洗, fine-冲洗, 红外线干燥分度皮带输送机, 和卸载.


湿装操作和所有的清洗和漂洗过程都是由demin完成的. (完全软化)水. 这取决于清洁程序, 冲洗水用在一个级联环路中, 被丢弃的, 或通过另一个排水沟. 这种方法有助于提高清洗质量, 还有由UCM开发的用于所有储罐的四边溢流特性. 清洁或漂洗液从下面进入水箱, 向上移动,然后从四面溢出. 因此,从产品中取出的异物将直接从罐中排出. 这避免了在卸载部件时的再污染,同时也防止了油箱中污垢的形成. 此外,基底处理得非常彻底和均匀.


冲洗槽还有另一个特殊的设计特点. 水在高压下被泵入这些水箱,以便引起湍流. 这就足够了, 与产品运动相结合, 目前在没有超声波辅助的情况下冲洗基质. 然而, 机械设备和控制系统都已准备好支持未来的超声集成,以便用户将能够迅速灵活地响应更严格的要求.

无尘室全自动清洁

清洗系统集成到洁净室中. 待处理底物, 尺寸可达10英寸, 是否在系统的处理架上以特殊的盒装手工放置. 操作员然后选择适当的特定部位的清洗程序. 它存储在系统控制器中,并决定在每个情况下使用哪个站和哪个处理参数- e.g.,超声波功率和频率,停留时间-应设置每个槽. 以确保在每个工位准确地遵守规定的治疗时间, 灵活的控制系统支持“优先时间”输入。. “目前,我们正在与10个不同基质的项目合作,并从一开始就在所有清洁任务中取得了出色的结果. 自2015年3月移交以来,清洁系统一直运行平稳. 事实上, 我们还没有看到这种复杂设备通常会遇到的初期问题。”, 简·舒巴赫满意地指出.


作者:多丽丝·舒尔茨

Mr. Andreas Netz

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